適用製品
蛍光分析、偏光分析に用いる検出感度の高い、ナノ構造体を有する光学素子
目的
基板表面にナノオーダーの微細な凹凸面のナノ構造を有する光学素子用成形型を、生産性の高いドライプロセスのみで、簡単な工程により作製する製造方法を提供する。
効果
大面積で且つ複雑な自由曲面を持つ基板表面に、均一に安定してナノ構造体を有する、バイオや医療に用いる高感度センサーチップを安価に製造することができる。
技術概要
基板２上に１層以上のエッチング転写層３を形成し、その上に半球状の島状微粒子生成用の薄膜を形成させる。この薄膜を、熱反応、光反応、ガス反応等のいずれか、またはそれらの複合反応を用いて、その物質の凝集作用、分解作用、または核形成作用を生じさせ、半球状の島状微粒子５を複数形成させる。この複数の島状微粒子５を保護マスクとしてエッチング転写層３及び基板２を反応ガスによって順次エッチングして、基板２の微細な表面に錐形状のパターンを形成させ、微細な凹凸面（ナノ構造型面）を有する光学素子用成形型を製造する。薄膜４は、銀、金、白金、パラジウム、タングステン、ビスマス、テルルなどを主成分とする酸化物、窒化物などを用い、熱反応、光反応、ガス（例えば、ＣＦ↓４、ＣＨＦ↓３、ＣＨ↓４、ＣＦ↓６、Ｈ↓２、ＣＯ等）の分解反応等をパラメータとして、材料の凝集反応、核形成反応をさせて、島状微粒子５の平均粒径を５〜１０００ｎｍとする粒径や間隔を制御するのが好ましい。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
