目的
金属体等の被検体中に存在する未知の欠陥の位置や形状をより高速に、かつ定量的に評価し、被検体の内部構造を可視化可能とした非破壊検査装置及びこの装置による検査方法を提供する。
効果
被検体の内部構造を反映した応答特性の振幅情報及び位相情報を得ることができ、被検体中に存在する未知の欠陥の位置や形状をより高速に、かつ定量的に評価可能とすることができる。しかも、被検体内の材質の違いも検出可能であって、被検体の内部構造をより詳細に可視化可能とする。
技術概要
図１に示す、所定のパルス状の電流を出力する電源回路１１と、磁場を生成する印加コイル１２と、磁場によって被検体１３に誘導した誘導磁場を検出して電気信号として出力するセンサ１４と、電源回路１１からの電流の出力に応じた電気信号の解析を行う解析部１５を備え、解析部１５は被検体１３で誘導された誘導磁場をセンサ１４で検出して得た電気信号である第１の信号と、被検体１３がない場合に検出して得たバックグラウンドの電気信号である第２の信号の情報を記憶する記憶手段と、この記憶手段に記憶された第１の信号の情報と第２の信号の情報とから被検体の応答特性を特定する振幅情報と位相情報を生成する応答特性特定手段を備えた非破壊検査装置において、応答特性特定手段では、第１の信号から第２の信号を減算して第３の信号を生成し、この第３の信号をフーリエ変換するとともに、フーリエ変換された第３の信号の振幅を、フーリエ変換した第２の信号の振幅で規格化して振幅情報を生成し、フーリエ変換した第１の信号における偏角とフーリエ変換した第２の信号における偏角の差から位相情報を生成する非破壊検査装置である。図２は解析手順を示すフローチャートである。
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