目的
被検体の微小な領域に生じたひずみを測定可能とするだけでなく、被検体の表面の面方向のひずみとともに被検体の厚み方向のひずみも測定可能としたひずみ測定方法及びひずみ測定装置を提供する。
効果
窪みの形状への形状変化の変化量からひずみを算出するステップとを有することによって、１つの窪みから被検体に生じたひずみを測定することができ、微小な領域におけるひずみを測定可能とすることができるとともに、被検体の厚み方向におけるひずみを測定可能とすることができる。
技術概要
図に示すように、まず、被検体に設けている窪みの形状を共焦点顕微鏡などで所定の第１のタイミングで測定しておく（ステップＳ１）。この第１のタイミングから所定時間後の第２のタイミングで先の窪みの形状を共焦点顕微鏡などで再度測定する（Ｓ２）。第１のタイミングでの窪みの形状から第２のタイミングでの窪みの形状に変化した場合における窪みにおけるひずみを算出する（Ｓ３）。窪みにおけるひずみの算出は、例えば、ひずみを評価するひずみパラメータを導入して有限要素法などの解析手段を用いてひずみパラメータを特定することによりできるし、第１のタイミングでの窪みの形状から第２のタイミングでの窪みの形状への変化量から適宜の算出式に基づいて算出できる。被検体のひずみを、窪みのひずみから所定の換算式を用いて算出する（Ｓ４）。さらに、窪み形状を多角錐状とした場合には、窪みを複数の多角錐面で構成でき、窪みにおける形状変形の変形量を多角錐面の頂点の移動量で評価することによって、ひずみ及び回転の評価を極めて容易に行うことができる。
改善効果１
窪みを被検体に形成した圧痕としたことによって、変形が生じる前の窪みの形状をほぼ一定とすることができ、変形後の形状変化の範囲を容易に想定できるので、窪み形状の測定の効率化を図ることができる。
基本情報
開放特許情報
)
登録者情報
その他の情報
