適用製品
超微粒子材料、機能性セラミックス薄膜、金属薄膜
目的
膜内の超微粒子材料の接合が充分で、組織が緻密であり、かつ密度の均一な膜を備える積層体の提供。
効果
本技術によれば、成膜のための超微粒子材料の供給量が安定化しない場合でも、研磨、研削工程により一回の形成膜厚が精密に規定できるため、この操作の繰り返し回数で諸望の膜厚を大面積にわたり均一かつ精密に制御することが可能となる。
技術概要
この技術の積層体は、基板と脆性微粒子材料の層とを備え、脆性微粒子材料の層は基板上に堆積されていて表面が滑らかな面をなしている第一の脆性微粒子材料の層と、第一の脆性微粒子材料の層の滑らかな表面をなす表面の上に堆積した第二の脆性微粒子材料の層とからなり、第一の脆性微粒子材料の層と第二の脆性微粒子材料の層は塑性変形を起こす粒子で構成されている。ここで、この様な塑性変形可能な特性を有する脆性材料粒子を基板上に吹き付けると、微粒子は、まず、基板にアンカー層を形成することで、基板に付着し、次に基板上で塑性変形し、高密度組成体で被覆膜を構成する。さらに塑性変形粒子は順に堆積される。したがって、粒子間の隙間（ｇａｐｓ）は、粒子の塑性変形により、つき固められ、緻密化する。さらにこの塑性変形により微粒子表面に結晶面のずれや転移の移動に伴う活性面が形成されるため後続の衝突した微粒子と再結合を起こす。そのため緻密な膜成が得られる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
