目的
配向カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）をより一層安価に量産することができる配向ＣＮＴの製造装置および製造方法の提供。
効果
触媒の活性が高まると共に寿命が延長するので、配向ＣＮＴの成長を長時間継続させることが可能となる上、原料ガス並びに触媒賦活物質が無駄なく消費されるので、配向ＣＮＴを安価に量産することができる。
技術概要
この技術は、配向カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）の製造装置は、金属触媒被膜が形成された基板を受容する反応チャンバと、還元ガス、原料ガス及び触媒賦活物質の反応チャンバ内への供給手段（ガス供給管）とを備え、基板の触媒被膜形成面に直交する方向に配向するＣＮＴを製造するための装置であって、原料ガス及び触媒賦活物質の供給手段が、基板の触媒被膜形成面を臨む位置に設けられた複数の噴出孔を備えており、かつ噴出孔の噴出方向が、金属触媒被膜から成長したＣＮＴの配向方向に適合していることを特徴とする。触媒賦活物質としては含酸素化合物を用いる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
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