適用製品
質量分析装置、生体分析、エッチング装置、微細加工装置
目的
この発明は、タンパク質分子やＤＮＡ分子などのライフサイエンス関連試料の質量分析のために好的で、分子レベル空間情報のイメージングが可能なイオン化方法及び装置を提供する。
効果
この発明によれば、試料に衝突する帯電液滴のビームの広がりをマスクによって制限する構造となっている。そのため、帯電液滴の衝突位置を固定しておくことにより、試料の深さ方向の情報を得ることが出来る。また衝突位置を試料表面に対して二次元的に走査すれば、試料表面層の分子の二次元情報を得ることが出来るものである。
技術概要
従来から生体試料のイメージングに、マトリクス支援レーザー脱離イオン化法（ＭＡＬＤＩ）及びイオン衝撃法（ＦＡＢ／ＳＩＭＳ）が利用されていた。しかし、ＭＡＬＤＩは、生体試料にマトリックスを塗布するので、レーザー照射により、塗布物のケミカルノイズが発生する問題がある。またＦＡＢ／ＳＩＭＳでは、高速原子、イオンを使用するので一次衝撃粒子が深く試料に侵入し、試料を化学的に激しく破壊すると言う問題がある。この発明は、この点を改善するために、クラスタイオン衝撃によるイオン化法（ＥＤＩ）を用いたものである。具体的には、帯電液滴生成室内において、コールドを含む各種のエレクトロスプレーによりミクロンオーダーの帯電液滴のビームを形成し、これを真空加速室内において１０ＫＶ程度の高圧電場により加速して、冷却された試料基板上に塗布した生体試料薄膜を衝撃し、生体高分子のイオン化を行う。試料基板の前方にマスクを配置し、ビーム状帯電液滴の広がりを制御する。これにより二次元情報が得られる様になる。また帯電液滴にエッチング溶液を用いることにより、微細エッチングを行うことも可能となる。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
