適用製品
板状部材においてポリイミド微細構造体を作製するポリイミド微細構造体の製造方法
目的
板状部材上に形成されるポリイミドを十分に微細化することが可能なポリイミド微細構造体の製造方法を提供する。
効果
板状部材上に形成されるポリイミドを十分に微細化することができる。
技術概要
ポリイミド微細構造体を作製する製造方法であって、
板状部材上にポリイミド前駆体を含む加工用の膜を形成する形成ステップと、
前記板状部材上の前記加工用の膜に所定の照射パターン及び所定の強度でレーザ光を照射することによって、光反応により前記加工用の膜をイミド化する照射ステップと、
前記板状部材上の前記加工用の膜のうちの残余のポリイミド前駆体を除去する除去ステップと、
を備えるポリイミド微細構造体の製造方法。
基本情報
開放特許情報
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