目的
より微細な構造を有する金属微細構造体を形成することができる金属微細構造体の製造方法を提供する。
効果
より微細な構造を有する金属微細構造体を形成することが可能となる。
技術概要
金属塩を溶解させたポリアミック酸を含む被処理部材を形成する形成ステップと、
レーザ光源からレーザ光を出力するとともに当該レーザ光の偏光状態を制御する出力ステップと、
偏光状態を制御された前記レーザ光を予め設定された照射パターンで前記被処理部材に照射する照射ステップと、
前記被処理部材を除去する除去ステップと、を備える、金属微細構造体の製造方法。
基本情報
開放特許情報
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