目的
固定パターンノイズの低減された高画質の画像が得られる固体撮像素子を提供する。
効果
光電変換層が多結晶膜からなる光電変換膜を有し、前記光電変換膜の最大結晶粒径Ａと、画素サイズＢとの関係がＡ／Ｂ≦１．０を満足するものであるので、撮像した画像の固定パターンノイズを低減でき、高画質の画像が得られる。
技術概要
信号読み出し回路を有する基板上に、第１電極と光電変換層と第２電極とが、この順に積層された固体撮像素子であって、
前記光電変換層が、テルルからなる接合層と、前記接合層上に形成された多結晶膜であって結晶セレン膜からなる光電変換膜とからなり、前記光電変換膜の最大結晶粒径が１μｍ以上であり、前記最大結晶粒径Ａと、３μｍ以下である画素サイズＢとの関係が、以下の式（１）を満足することを特徴とする固体撮像素子。
Ａ／Ｂ≦１．０‥（１）
（式（１）において、Ａは＞０である。）
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