目的
煩雑な処理を必要とすることなく板状部材における金属構造体の微細化を容易に実現する金属微細構造体の製造方法を提供すること。
効果
煩雑な処理を必要とすることなく板状部材における金属構造体の微細化を容易に実現することができる。
技術概要
金属微細構造体を作製する金属微細構造体の製造方法であって、
金属塩を溶解させたポリアミック酸を含む板状部材を形成する形成ステップと、
前記板状部材に所定の照射パターンでレーザ光を照射する照射ステップと、
前記板状部材の一部と、前記金属塩から生じた金属イオンとのうちのいずれかを除去する除去ステップと、
を備える金属微細構造体の製造方法。
基本情報
開放特許情報
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登録者情報
その他の情報
