出願番号 |
特願2004-290842 |
出願日 |
2004/10/1 |
出願人 |
国立大学法人北海道大学 |
公開番号 |
特開2006-106227 |
公開日 |
2006/4/20 |
登録番号 |
特許第4599553号 |
特許権者 |
国立大学法人北海道大学 |
発明の名称 |
レーザ加工方法および装置 |
技術分野 |
機械・加工、有機材料 |
機能 |
機械・部品の製造 |
適用製品 |
レーザ加工装置 |
目的 |
レーザ光造形法において、型くずれを起こすことなく、異方的な形状を有する物体から成る複雑で微細な構造物を作製することができるレーザ加工方法および装置の提供を目的とする。 |
効果 |
型くずれを起こすことなく、異方的な形状を有する物体から成る複雑で微細な構造物を作製することができる。 |
技術概要
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光造形用の材料として、液状の光硬化性樹脂ではなく、固体である光架橋反応性のポジ型レジスト材料を用い、これにパルスレーザ光を走査しながら集光照射し、集光位置に多光子吸収による光架橋反応を生起させることにより、異方的な形状を有する物体から成る複雑で微細な構造物を作製する。このとき、光架橋反応が十分に生起するように、パルスレーザ光の強度および走査速度をそれぞれ最適値に設定する。 |
イメージ図 |
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実施実績 |
【無】 |
許諾実績 |
【無】 |
特許権譲渡 |
【否】
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特許権実施許諾 |
【可】
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